ETG 6902 A
2017-08-05
CO2气体分析仪
可调激光二极管抽取式CO2分析仪
环境温度下采样
19”机架式安装
最小标..
测量气体：HCI, HF, NH3
深紫外（DUV）光刻处理技术已被证明对许多类型的分子污染物都特别敏感，氨和酸性气体则可以对整个晶圆厂产生问题。
已经改进的DUV抗腐蚀材料和使用期限较长的过滤器的开发并没有减少对实时连续监控的需求，事实上，它使对空气污染物的测量变得更加重要。
用于氨，HCl，HF跟踪检测的新型ORION 3100便携式仪器MS 与可移动的uVOC-CAMY系统相结合，用于洁净室中的空气分子污染，是当前半导体市场上最强大的工具。
ORION 3100是一个多点区域监测系统，它将气体有顺序地吸入分析仪或气体传感器并读取其浓度。ORION 3100配备有报警和记录软件并具有多年的类似系统的开发经验。
空气中携带的酸性混合物气体检测
灵敏性增强
该仪器基于CEAS技术，简单易操作，成本较低，并包括所有组件（内部真空泵，键盘，鼠标，视频监视器），可在数分钟内开始录制数据。
